淄博高新区O2O人才综合服务平台

Zibo Hi-tech Zone O2O Human Resources Comprehensive Service Platform.

MEMS研发中试平台
作者: 发布时间:2018-05-21 点击数:

MEMS研发中试平台.jpg


MEMS研发中试平台。投资约1.6亿元,其中工艺设备投资1亿元,面积5000平方米,分环境动力区、办公区、洁净区,超净规模国内一流,省内独家。拥有德国SUSS公司光刻机、奥德利EVG公司键合机、英国SPTS公司深硅刻蚀机等国际一流6英寸半自动MEMS及微纳米代工线设备,已有继电器等3个产品完成通线工作,完成工艺开发78项,2017年2月入选《中国制造2025》2017年度重大标志性项目,是微机电领域山东省唯一入选单位。