MEMS研发中试平台。投资约1.6亿元，其中工艺设备投资1亿元，面积5000平方米，分环境动力区、办公区、洁净区，超净规模国内一流，省内独家。拥有德国SUSS公司光刻机、奥德利EVG公司键合机、英国SPTS公司深硅刻蚀机等国际一流6英寸半自动MEMS及微纳米代工线设备，已有继电器等3个产品完成通线工作，完成工艺开发78项，2017年2月入选《中国制造2025》2017年度重大标志性项目，是微机电领域山东省唯一入选单位。